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真空热处理不是干净，真空和清洁应该是两个相关但不同的概念。
在高真空条件下，随着温度的升高，各种氧化物、化合物被分解，甚至金属中的元素也会蒸发，较重的物质分散在真空腔中，不容易被拔出，成为污染物。在高温下，随着真空度的提高，表面更容易激活，容易吸收分散的分解物。特别是，真空油淬火炉加热室经常加入淬火油，扩散的真空泵油附着在加热室壳体内壁、碳毡和加热带上，然后在加热过程中挥发成渗碳剂。
弹性敏感元件多采用奥氏体不锈钢、沉淀硬化不锈钢、高温合金和精密弹性合金制成。它们含有更多的铬、钼、钒、钛、钽等元素，具有很强的碳亲和力，可以形成一系列碳化物。
此外，这些合金碳含量很低，对碳污染更敏感。此外，元件的厚度非常薄，主要在0.07~0.30mm之间。在反复固溶加热过程中，甚至导致渗透性渗碳，不仅提高了材料的冷硬化率，破坏了成型性能，而且改变了材料的其他物理化学性能。这种真空油淬火固溶处理工艺已成为严重影响产品制造和使用性能的障碍。
