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采用真空热处理技术处理的产品和零件具有不氧化、不脱碳、不脱气、不脱脂、表面质量好、变形小、综合机械性能优良等优点。同时，真空热处理设备具有无污染、无污染、自动化程度高等突出优点，因此真空热处理技术被广泛应用于各种精密产品和零件的生产。可以说，真空热处理已经成为先进热处理生产技术的主要标志。
我国真空热处理技术的基础研究始于20世纪70年代，之后经历了技术引进、消化吸收、自主发展的过程。20世纪90年代，随着航空航天、机械制造等国防工业的快速发展，真空热处理技术和设备得到普及。目前，我国真空热处理炉的主要产品有真空油淬炉、真空高压气淬炉、真空回火炉、真空钎焊炉、真空烧结炉、真空低压渗碳炉、真空渗氮炉和真空热处理连续生产线。
真空热处理技术广泛应用于各种材料，包括普通碳钢、合金钢、模具钢、不锈钢、耐热钢、高温合金、钛合金、磁性合金、弹性合金、铜合金、高纯铝箔等。这些材料广泛应用于冶金、机械、化工、电子、汽车、航空航天等行业。与气氛炉和盐浴炉相比，真空热处理炉具有产品质量好、后续加工少、运行成本低等特点。
